08. März 2005

Aufträge aus aller Welt

Das Anwenderzentrum für die industrienahe Mikrosystemtechnik (AZM) bei BESSY, der Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft für Synchrotronstrahlung, war 2002 fertig geworden. Die Millionen-Investition in Adlershof, seither gemeinsam von BESSY und der Technischen Universität Berlin betrieben, arbeitet inzwischen fast wie ein Industriebetrieb, berichtet Prof. Dr. Wolfgang Eberhardt, der wissenschaftliche Geschäftsführer von BESSY. „Wir sind jedoch immer an weiteren Partnern aus der Wirtschaft interessiert, die im Anwenderzentrum Projekte von der Entwicklung bis zur Fertigung durchführen wollen“.

Im AZM, praktisch ein Laborzentrum für die Prozessentwicklung sowie Dienstleister für Unternehmen aus aller Welt, werden Mikrokomponenten, mikromechanische und -optische Bauteile aus Metallen oder Kunststoffen gefertigt, die hochpräzise und zum Teil unvorstellbar klein und mit dem bloßen Auge nicht mehr sichtbar sind: Deren Größenordnungen erstrecken sich vom Millimeter- bis in den Nanometerbereich (Millionstel Millimeter). Nur mittels der im Teilchenbeschleuniger gespeicherten Synchrotronstrahlung und dem lithographischen Direct-LIGA-Verfahren können solche Hightech-Bauteile mit der in der Mikrosystemtechnik (MST) benötigten Präzision hergestellt werden. Dafür stehen dem AZM drei der 46 Beamlines am Ring sowie mehrere Reinräume und Labore zur Verfügung.

Nach den Worten Eberhardts hat das Anwenderzentrum inzwischen Firmenaufträge u.a. aus Deutschland, Japan, der Schweiz und Australien realisiert. Produziert wurden winzige Zahnräder für Mikropositioniergetriebe, die zum Beispiel bei der Produktion von Computerchips eingesetzt werden, Hologramme, spezielle Prägestempel sowie Optikkomponenten. Die Kooperation mit Infineon führte zur Entwicklung neuer Fotolacke für die Chipherstellung. Für den Eigenbedarf von BESSY wurden Optiken für Röntgenmikroskope hergestellt.

„Die Fertigungsmengen im AZM steigen. Es gibt beständig neue Ideen, was wir dort mit unseren guten Möglichkeiten machen und zusätzlich anbieten können“, sagt der Geschäftsführer. Einen künftigen Schwerpunkt für das Anwenderzentrum sieht er in der Produktion hochwertiger Mikrosystem-Komponenten aus Metallen. Engen Kontakt pflegt BESSY auch mit Standortpartnern in Adlershof, so zum Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH). Es hatte jüngst ein neuartiges Hochleistungs-Lasersystem vorgestellt, das gemeinsam mit dem AZM entwickelt worden ist. Der so genannte „Master Oszillator Power Amplifier“ (MOPA), knapp so groß wie ein Fingernagel, ist etwa zweitausend Mal leistungsfähiger als ein Laserpointer und kann beispielsweise in der Spektroskopie und in der Datenübertragung eingesetzt werden. Das Besondere des Systems: Die drei winzigen Komponenten des Lichterzeugers - eine Laserdiode, eine Glaslinse sowie ein leistungsfähiger Trapezverstärker - werden mit einer bislang unerreichten Genauigkeit exakt hintereinander auf einer mikrooptischen Bank aus Silizium positioniert. Dieses Bauteil mit seinen sehr kleinen Strukturen und speziellen Metallklammern zur Befestigung der Systemkomponenten wird im Anwenderzentrum mit Hilfe der Synchrotronstrahlung und des LIGA-Verfahrens erzeugt. „Die nur wenige Millimeter lange und breite Siliziumbank ermöglicht und erfordert eine Positioniergenauigkeit von nur einem Tausendstel Millimeter und ist damit eine wichtige Voraussetzung für die hochpräzise Fertigung dieser leistungsstarken neuen Halbleiter-Lasereinheiten“, beton Eberhardt.

Kontakt:

Prof. Dr. Wolfgang Eberhardt

Geschäftsführer

BESSY GmbH

Albert-Einstein-Straße 15

12489 Berlin

Telefon: (030) 63 92 47 10

Telefax: (030) 63 92 29 89

E-Mail: eberhardt(at)bessy.de

www.bessy.de

Nachrichtenbüro

Thomas Wolter