Carl Zeiss-Großauftrag geht an Adlershof
BESTEC GmbH erhält Zuschlag zum Bau eines EUV-Reflektometers
Bereits zum dritten Mal hat BESTEC den Auftrag zur Herstellung eines Reflektometersystems zur Charakterisierung von Multilagen-Spiegeln für den EUV-Bereich erhalten.
Die Beschichtung von Multilagenspiegeln für den EUV-Bereich ist insbesondere für gekrümmte Spiegeloberflächen sehr komplex, so dass eine Endkontrolle durch Reflektometrie im gleichen Wellenlängenbereich unverzichtbar ist. Die Anlage leistet damit einen entscheidenden Beitrag zur Qualitätskontrolle bei der Produktion derartiger Optiken.
Die dafür notwendige Apparatur umfasst eine kontinuierlich durchstimmbare EUV-Quelle, das Monochromatorstrahlrohr sowie das eigentliche in-Vakuum Reflektometer.
Das voll automatisierte Reflektometersystem erfüllt dabei höchste Ansprüche hinsichtlich der Reproduzierbarkeit der Reflektivitäts- und Wellenlängenmessung sowie der Genauigkeit und Fettfreiheit der in-Vakuum-Mechanik des Reflektometers.
Die 7 m lange und ca. 10 t schwere, komplexe Anlage wird erneut in Adlershof aufgebaut und getestet werden, bevor sie im nächsten Jahr an die Firma Carl Zeiss SMT AG geliefert wird.
Die Fa. BESTEC beweist damit im 21. Jahr ihres Bestehens nach intensiven Entwicklungsarbeiten zur Optimierung eines derartigen Reflektometers erneut ihre Leistungsfähigkeit in der Kombination von Optik, Präzisionsmechanik und Vakuumtechnik auf international höchstem, technisch realisierbarem Niveau.
Kontakt:
Sabine Proll
BESTEC GmbH
Carl-Scheele-Str. 14, 12489 Berlin
Tel: 030/670992-11, Fax: 030/677 5718
sabine.proll(at)bestec.de